Fabrication of Impedimetric Transducers Using a Compact and Low-Cost Prototype for Photolithography
DOI:
https://doi.org/10.13053/cys-29-2-5703Palabras clave:
Gold transducers, no photolithography machine, electrochemical impedance spectroscopyResumen
Impedimetric gold transducers were fabricated on glass substrates using a simple photolithography method without requiring a photolithography machine. An acetate sheet containing printed electrode designs and edge markings for alignment during pattern transfer was used as photomask. A compact pattern phototransfer system named Expotransfer, was designed for this process. Gold deposition was performed by electron beam evaporation. The electrodes obtained have a diameter of 2 mm with a minimum line thickness of of 250 μm and the separation between patterns of equal magnitude. Electrochemical impedance spectroscopy (EIS) tests showed a predominantly capacitive behavior in the frequency range of 100 kHz to 1 kHz, which follows a parallel plate model. Repeatability between the manufactured electrodes was also achieved.Descargas
Publicado
Número
Sección
Licencia
Transfiero exclusivamente a la revista “Computación y Sistemas”, editada por el Centro de Investigación en Computación (CIC), los Derechos de Autor del artículo antes mencionado, asimismo acepto que no serán transferidos a ninguna otra publicación, en cualquier formato, idioma, medio existente (incluyendo los electrónicos y multimedios) o por desarrollar.
Certifico que el artículo, no ha sido divulgado previamente o sometido simultáneamente a otra publicación y que no contiene materiales cuya publicación violaría los Derechos de Autor u otros derechos de propiedad de cualquier persona, empresa o institución. Certifico además que tengo autorización de la institución o empresa donde trabajo o estudio para publicar este Trabajo.
El autor, representante acepta la responsabilidad por la publicación del Trabajo en nombre de todos y cada uno de los autores.
Esta Transferencia está sujeta a las siguientes reservas:
- Los autores conservan todos los derechos de propiedad (tales como derechos de patente) de este Trabajo, con excepción de los derechos de publicación transferidos al CIC, mediante este documento.
- Los autores conservan el derecho de publicar el Trabajo total o parcialmente en cualquier libro del que ellos sean autores o editores y hacer uso personal de este trabajo en conferencias, cursos, páginas web personal, etc.
